皮拉尼電阻真空計是種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成，用于測量低真空。其使用范圍在1.0×10⁵  ~   1.0×10^-1Pa。

儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好，不易損壞。

儀器采用微處理機成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償能，并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防電壓沖擊等術，提了測量度及抗干擾能力，特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。

每臺真空計均設置有兩組繼電器輸出接口，用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設定。本儀器通過觸摸開關輸入的預置參數(shù)掉電后可保存，該儀器控制面板更人性化，操作更方便，開電源即可作。本機線路設計合理，制作藝考究，采用了整板設計，波峰焊接。其軟件編排*，算法，使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠。

． 主要術標

1.    測量與控制范圍：1.0×10⁵~1.0×10^-1Pa

2.    測量誤差：（P-P0）/P0≤±15%  （2.0×10³Pa~1.0×10⁰Pa）

3.    配用規(guī)管：連接管外徑15±0.5mm或法蘭盤接口

4.    采樣時間：1S

5.    模擬輸出信號：0~5V（可選）

6.    控制繼電器觸點容量：2A  /  AC220V

7.    供電：AC50Hz   220V±10% / 15W

8.    使用環(huán)境：溫度-5~40℃   濕度≤90%

9.    面板尺寸：116×96mm

10. 機箱尺寸：91（寬）×118深）×91（）

二． 使用方法

1、開機準備

      將電源開關置于“關"的位置，用規(guī)管電纜將電阻規(guī)與本機對應連接好，用電源線將電源插座和本機電源座連接。繼電器開關量信號輸出座與被控制的執(zhí)行設備用電纜線對應接好，儀器背板上的“J1"、“J2"兩個繼電器輸出座各有組開觸點和常閉觸點，供用戶自行選擇使用。

2、開機

      接通電源，儀器顯示“P"約3秒（預熱）后入測量狀態(tài)。

      儀器采用以10（用E表示）為底的數(shù)，表示單位為Pa的氣體壓力值（真空度）。“E"前兩位為系數(shù)，后兩位是正負數(shù)。

3、電阻真空計的零點和滿度調校：

     請定按照以下調零點，后調滿度的秩序行。

a.調零點

當確定真空系統(tǒng)的真空度在1.0×10^-1Pa以上時，作5分鐘后，按儀器面板（▲）（▼）  （（▲）增加數(shù)值，（▼）減少數(shù)值）使儀器顯示“1.0E-1"（1.0×10^-1Pa），零點調校作即告成。

b.調滿度

      成了調零點的作，將被測系統(tǒng)放大氣后，讓儀器作5分鐘，按下（ATM）鍵，并保持，顯示值由原數(shù)值變?yōu)椤?.0E5"（1.0×10⁵Pa），松開按鍵，此時滿度調校成。

      旦調節(jié)好零點和滿度，以后就不再調，只有更換規(guī)管時才需要調節(jié)。在調零點將系統(tǒng)放大氣后，即使儀器已經(jīng)顯示“1.0E5"（1.0×10⁵Pa）,仍然需要執(zhí)行調滿度的步驟。

注意：本機在出廠前已經(jīng)調好零點，不需調試 ，由于各地氣壓不同只要調下滿度即可，也可以不調。注意規(guī)管號與相應儀器配合使用即可。

4、控制點和控制區(qū)域設置

     真空度用氣體的壓力值表示，本機使用的壓力單位是帕(Pa)，真空度越，壓力值越低。區(qū)域真空的區(qū)域，上限區(qū)域真空度的端（也就是氣壓值小的端），下限區(qū)域真空度低的端（也就是氣壓值大的端）。

     打開本機電源，在窗口顯示“P"的3秒內，按下面板上的“能（Fun）鍵，入設置狀態(tài)，窗口顯示1路控制的真空區(qū)域上限符號“1_"，再按下（Fun）鍵，顯示過去設置的真空度上限壓力值，其系數(shù)的整數(shù)位閃爍，按（SET）鍵，在“0~9"中間選定要置入的上限壓力值系數(shù)的整數(shù)位，再按（Fun）鍵，使系數(shù)的小數(shù)位閃爍，再按（Set）鍵選定小數(shù)位，同樣的方法可設定壓力值數(shù)的正負號和數(shù)字位。

設置控制區(qū)域上限的壓力值，再按（Fun）鍵，顯示1路控制的區(qū)域下限符號：“1^-"，用與設置上限壓力值相同的方法，可以設定下限的壓力值。

設置成1路控制的真空度區(qū)域上、下限壓力值后，再按“能（Fun）鍵，顯示2路控制區(qū)域的上限符號：“2-"，與設置1路控制區(qū)域上、下限壓力值的方法相同，可設定2路控制的區(qū)域上、下限壓力值。

如果需要設置控制點，只需將該路控制的區(qū)域上下限壓力值均設為所需控制點的壓力值。

注意設置作成后，定要關機保存所置入的數(shù)據(jù)，直到下次修改。如果不關機，儀器不會從設置狀態(tài)自動返回測量狀態(tài)。5、控制繼電器的作方式

 各路控制繼電器的作方式是：當被測系統(tǒng)的真空度上升至該路控制區(qū)域上*繼電器吸合，當被測系統(tǒng)的真空度下降至該路控制區(qū)域下*繼電器釋放。對應儀器輸出的兩路繼電器控制，在面板上有J1、J2、兩個示燈，其作狀態(tài)是：當某路繼電器動作時，對應的示燈亮，復位時，示燈滅。

例：

使用本機輸出的1路繼電器控制，對如圖所示的真空度范圍設置區(qū)域控制，當系統(tǒng)真空度上升達到5Pa時，1路控制繼電器吸合，然后在系統(tǒng)真空度下降到8Pa時，繼電器釋放。